晶圆级等离子多驱解离刻蚀设备发布会在珠海高新区举行

5月23日，珠海恒格微电子装备有限公司（以下简称“恒格微电子”）在珠海高新区举行恒格等离子多驱解离刻蚀设备发布会。

发布会现场 受访者供图

发布会现场，恒格微电子与电子薄膜与集成器件全国重点实验室签署深度产学研合作协议，双方将围绕半导体设备核心技术研发、专业人才培养等领域开展战略合作。电子科技大学代表表示，“此次合作将加速高校科研成果转化，为国产半导体装备技术迭代提供智力支持。”

与此同时，恒格微电子与国内显示面板龙头企业达成工艺合作开发协议。双方将针对显示面板制造中的刻蚀工艺需求开展联合研发，推动国产等离子刻蚀设备在显示领域的规模化应用，加速面板行业核心装备国产替代进程；与三叠纪公司达成战略合作，双方将聚焦TGV-等离子刻蚀设备的迭代研发与产业化应用，为国产装备贡献力量。

珠海高新区党工委委员、管委会副主任薛飞在致辞中表示，恒格微电子从PCB设备细分领域龙头成长为半导体装备新锐，充分展现了珠海硬科技企业的创新韧性与担当，希望恒格微电子持续深耕技术研发，为粤港澳大湾区打造半导体产业高地贡献力量。

长期以来，珠海高新区把集成电路产业作为引领区域创新发展的主导产业，瞄准高端半导体设计、设备制造、晶圆代工和先进封装等领域强链、延链、补链，推动半导体与集成电路产业集群式发展，已初步形成“设计-制造-封装-测试”全产业链体系。半导体与集成电路企业数量和经济规模位居珠海市首位，2024年实现规上经济规模达106.62亿元，近5年年均增长率超过20%，已成为珠海市集成电路产业发展的主阵地。

文|记者 郑达