ASM取得沉积氮化硅层相关专利

金融界2025年7月1日消息,国家知识产权局信息显示,ASM IP私人控股有限公司取得一项名为“沉积氮化硅层的方法、该方法形成的结构以及执行系统”的专利,授权公告号CN113136561B,申请日期为2021年01月。

本文源自金融界

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更新时间:2025-07-02

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