目前全球仅有一家企业能够制造EUV光刻机,那就是荷兰的ASML。
而EUV是制造7nm以下芯片必不可少的设备,所以EUV光刻机至关重要,像台积电、三星、intel等,都要求着ASML卖EUV光刻机给它们,买不到EUV光刻机,7nm以下芯片就没法制造。
这么重要且关键的设备,美国当然也不允许ASML卖给中国,生怕中国拿到EUV光刻机后,能够制造7nm以下芯片了,那美国还怎么卡脖子?
那么问题就来了,中国能不能自己造出EUV光刻机?
说实话,如果按照ASML的路线去造,那可能性不太大,至少短期之内没太多希望,因为ASML采用的是LPP路线,这种路线被ASML设置了众多的坎,有专利的,有供应链的。
LPP路线依赖昂贵复杂的高能激光器轰击锡滴产生等离子体,核心企业有蔡司、Cymer等等,这些核心企业在全球无可替代,也是ASML唯一绑定的供应商。
所以我们如果采用LPP路线,需要寻找新的蔡司、Cymer这样的供应链,还要突破ASML的专利、技术壁垒、供应链封锁等,才能造出EUV光刻机,这样难度太大了。
连日本、欧洲等国家和地区,在研发类似的EUV设备时,都不想走LPP路线,转向纳米压印等技术,可见ASML在这一个方向的封锁有多严。
所以我们要研发自己的EUV光刻机,自然也要尽量绕开ASML的这种LPP路线。
而近日有消息指出,国产EUV光刻机,很大概率会在登场了,这次走的不是ASML的LPP路线,而是LDP路线。
LDP路线指的是激光诱导放电等离子体技术,核心在于让电极间的锡材料汽化,再通过高压放电将其转化为等离子态,然后让电子与离子激烈碰撞,产生13.5nm的极紫外光。
按照一些媒体的说法,通过LDP路线,目前国产EUV光刻机已经有了很大的突破,取得了实质性进展,也许在今年就有可能推出。
当然目前真假未知,但是如果真的如此,那么ASML的天就真的塌了了,甚至是美国的天都要塌了,一旦我们有EUV光刻机,能制造7nm以下的芯片了,那所有针对我们的芯片禁令,都将彻底失效了。
因为这代表着,我们能够自己制造出7nm以下先进的逻辑芯片,AI芯片,手机芯片、CPU、GPU等等,那中国芯片产业的崛起,就再也挡不住了。
更新时间:2025-07-03
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