安东帕高温高真空超纳米压痕仪 UNHT³ HTV

高温超纳米压痕测试仪 (UNHT3 HTV)

全球第一台真正意义的商品化的高温高真空超纳米压痕仪，主要测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统，温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。专利 UNHT3 技术与独特的加热功能结合，可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。

主要特点 新一代的高温纳米压痕测试仪

• 环境条件下最低热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内最低热漂移 (< 3 nm/min)。
• 最高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和最低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合，可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。
• 高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统，允许在测量期间关闭初级泵，使振动降至最低。
• 独特的加热控制系统（3 项专利待批），采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热，以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。
• 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准

技术指标

载荷

最大载荷100 mN

载荷分辨率 6 nN

本底噪音 0.5 [rms] [μN]*

位移

最大位移100 μm

位移分辨率0.006 nm

本底噪音0.15 [rms] [nm]*

极限真空度10? mBar

最高温度800 °C