论无水无氧的重要性:晶圆分选传递就靠它了


论无水无氧的重要性:晶圆分选传递就靠它了


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1、规模化生产,生产效率较传统工艺数倍提升

2、遵循工业4.0规范,全自动化操作,智能化控制

3、是一套多工序连续式自动化系统,各工序腔体无缝连接,在转移过程中与大气隔绝,效率高,能耗低

4、各工序专业完成单一功能,实现恒定的高真空度、低露点、高温度均匀度的干燥环境,极大地提高了产品的性能参数,同保障了单一批次和多批次的产品一致性


更多无水氧分选传递产品

认准伊特克斯

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页面更新:2024-04-21

标签:特克斯   无水   工序   露点   大气   干燥   重要性   性能参数   温度   过程   操作   功能   环境   工业   更多   产品

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