真空镀膜系统@西安交大

（真空镀膜系统）

真空镀膜系统

—由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

—蒸发镀膜与真空手套箱组合，实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作，使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。

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（双面双工位手套箱）

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真空镀膜手套箱是一款整装可直接使用的标准型真空手设备，由主作业仓、主过渡舱、工具过渡舱、抽真空系统以及各个零部件组合而成，具有高密闭性、保压时间长、操作简单等特点，可满意院校科研和小批量生产的应用。手套箱为密闭循环设计，节约运行成本，在标准状况下，即20ºC恒温，一个标准大气压，99.999%的惰性气源，水氧目标均小于1ppm；箱体及大小过渡舱使用304不锈钢板，前视窗为钢化玻璃，耐磨防腐蚀；触摸屏PLC控制，自动化程度高，可实现：箱体内气体压力自动控制，箱体内气氛自动清洗，净化资料自动再生，系统运行数据自动记录等操作。

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设备用于保护研发和生产过程中使用的材料免遭环境中的氧气、水分、粉尘、细菌等污染，也可用于保护操作人员免遭有材料如化学品、细菌、核物料等的伤害，被广泛应用于化学和化工、锂电池、OLED、有机太阳能、医药、核工业、半导体、电子工业等行业。应用于有机合成及研发手套箱的技术特点:密封寿命超过十年；泄漏率低（＜0.001%/h）；气体吸附量大（O2：45-60L）；水氧含量准确可靠；再生周期长（超过一年）；故障率低；使用安全方便。

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真空镀膜系统

认准伊特克斯手套箱产品