纯国产光刻机取得重大突破！中国人攻克高端光刻机工件台科技难题

阿斯麦曾经说过“就算公开图纸，你们也造不出来”，业界也曾普遍认为中国人现在不能、未来也不可能造出如此高精密超复杂的光刻机设备。中国人造不出光刻机？不好意思，上海微电子开发的纯国产光刻机已经搞到了28nm！

光刻机主要由工件台、投影物镜和光源三大核心子系统件组成。日本尼康株式会社的社长来中国访问时曾说过这么一句话：“光刻机光学系统虽然很难，我相信你们能够研制出来，但工件台恐怕就拿不下来了，因为这个系统太复杂了”，不好意思，中国人偏偏把最难的事情搞定了！

华卓精科首席科学家、清华大学朱煜教授带领的团队攻克光刻机工件台科技难题！此次光刻机双工件台的突破打破了ASML公司在工件台上的技术垄断，成为世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司。华卓精科成为国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商。

作为上海微电子光刻机双工件台的供应商，华卓精科与上海微电子长期保持良好的合作关系，为国产光刻机崛起奠定了基础，占据了中国商用光刻机双工件台的主要市场份额。

业内人士表示，华卓精科在光刻机双工件台技术上的突破，为我国自主研发65nm至28nm双工件干台式及浸没式光刻机提供了技术赋能，其对于国产核心装备发展具有远大的战略意义。一台EUV光刻机售价高达1亿欧元，相信不远的将来国产EVU光刻机一定会卖出白菜价，到时候ASML就等着哭去吧！