光刻机内部也有芯片，那么是先有光刻机还是先有芯片？

光刻机内置大量芯片无需置疑，无论是ASML的EUV光刻机、还是我国自主生产的90nm、28nmDUV光刻机，仅靠软件集成技术无法在各子系统，如光源计量分析、透镜曝光参数补偿调整、零部件精密操控和化工材料精准分析等方面智能协同进行芯片生产。所以芯片是光刻机须臾不可缺的大脑和神经系统。

　　
那么，光刻机作为生产芯片的关键设备，是先有光刻机还是先有芯片呢？芯片是将大量具有单个运算能力的晶体管组合连接在同块硅片上、形成强大处理能力的微电子技术。芯片的应用、拉开了信息革命的帷幕，成为现代工业文明的基础。它的发明和应用早于光刻机的出现。光刻技术的原理、概念和雏形却是早于芯片出现，1822年，法国人在各种光照实验后，用油纸覆盖在涂有植物油和沥青的玻璃片上、通过日照得到了想要的图形，形成了最早的光刻技术。但没有和芯片技术结合、不是完整意义上的光刻机。

　　
从发明芯片的起源看，有两位科学家。一位是美国德州仪器公司的仪器工程师杰克·基尔比，他于1958年9月12日集成第一款芯片，即把二十余个晶体管、电阻、电容器集成在一块微型平板上，纯手工焊接将极细的铝质导线连接构成微型的固体组合件，并命名为“集成电路”，并于1958年向美国专利局申报了发明专利。

　　
可以说，没有基尔比的发明就没有现今的半导体产业、更不会有大家熟悉的数字生活，如今的PC、手机等等3C产品都源于基尔比的发明。芯片发明还离不开另一位科学家，即美国物理学家、著名企业英特尔共同创始人罗伯特·诺伊斯，1958年仙童公司在基尔比数月后也发明了集成电路，共同开创了世界微电子的历史。

　　
因此，从贝尔实验室1947年发明第一个点接触晶体管起，到1959年世界第一台晶体管计算机诞生，仙童公司研制成世界第一颗适用单结构硅晶片，提出光刻工艺并被用于各类半自动、自动，接触式、投影式光刻机，直到当今的EUV光刻机和DUV光刻机，时间上是早于光刻机出现的。