新一代 EUV 光刻机开始制造，传英特尔率先使用，摩尔定律还能再撑十年？

在位于美国康涅狄格州郊区的一间大型洁净室里，工程师们已经开始为一台机器制造关键部件，这台机器有望让芯片制造行业沿着摩尔定律至少再走上 10 年时间。

这台机器就是荷兰阿斯麦的新一代极紫外（EUV）光刻机，每台有公共汽车大小，造价 1.5 亿美元。其前所未有的精度可以让芯片上的元件尺寸在未来几年继续缩小。

据悉，阿斯麦于 2017 年推出世界上第一台量产的极紫外光刻机，在芯片制造领域发挥着至关重要的作用，已经被用于制造 iPhone 手机芯片以及人工智能处理器等最先进的芯片。阿斯麦正在康涅狄格州的威尔顿制造下一代极紫外光刻机的部分组件，其使用新技术来最小化紫外线波长，从而尽可能缩小所制造的芯片元件尺寸，最终提高整个芯片的性能。

新一代极紫外光刻机大约有一辆公共汽车那么大，造价 1.5 亿美元。整个机器包含 10 万个部件和 2 公里长的电缆。每台机器发货需要 40 个集装箱、3 架货机或者 20 辆卡车。只有诸如台积电、三星和英特尔等少数公司能买得起这种机器。

造好的组件将于 2021 年底运往荷兰维荷芬，然后在 2022 年初安装到新一代极紫外光刻机的第一台原型机中。英特尔可能会使用这种新机器制造出第一批芯片。英特尔表示，预计将在 2023 年下线第一批芯片。凭借比以往任何机器所蚀刻的图案尺寸更小，让每个芯片都有数百亿个元件，这台机器在未来几年所生产的芯片应该是史上处理速度最快、效率最高的。

1965 年，电子工程师、英特尔创始人之一戈登・摩尔 (Gordon Moore) 在行业杂志《电子学》35 周年特刊上发表了一篇文章。摩尔在文章中指出，单一硅芯片上的元件数量每年大约翻一番，他预计这一趋势将继续下去。

十年后，摩尔将他的预计从一年改为两年。近年来，尽管制造技术的不断突破和芯片设计的不断创新保持着这种势头，但摩尔定律的发展依旧受到了质疑。

极紫外光刻机使用特殊的工程技术来缩小用于制造芯片的光波长，这应该有助于延续摩尔定律的趋势。这种光刻技术对于制造更先进的智能手机以及云计算机器，还有人工智能、生物技术和机器人等新兴技术的发展都至关重要。

希望我国也继续努力，攻克制造高端光刻机这一难题。