我见物联多妩媚！物联网联盟会员风采系列之（二十五）

【一】我见物联多妩媚！物联网联盟会员风采系列之联盟副理事长单位 中国科学院微电子研究所

随着MEMS技术的发展，基于MEMS工艺的电容式湿度传感器因其在宽相对湿度范围内具有较好的灵敏度和较好的抗干扰能力而受到广泛关注。近日，微电子所集成电路先导工艺研发中心在纳米森林的微机电系统（MEMS）传感器应用研究上取得重要进展。 湿度的监测与控制在气象、农业、汽车、医药等行业具有重要意义。

传统的电容式湿度传感器通常由梳齿电极和湿度敏感材料两部分组成，该结构中存在寄生电容影响湿度传感器的灵敏度；传统湿度传感器的敏感材料主要有多孔硅、陶瓷、有机物等，其制备工艺较为复杂，吸附水分子的能力较弱。

图1 集成纳米森林的湿度传感器工艺流程示意图和SEM图

基于以上问题，微电子所陈大鹏研究员课题组提出了一种以纳米森林为湿敏材料，同时集成参比电容、微加热器和热敏电阻的新型湿度传感器。纳米森林具有超亲水性和完全开放的纳米结构，可提高湿度传感器灵敏度。该器件同时使用差值法消除寄生电容，通过热敏电阻进行温度补偿以提高传感器精度，采用微加热器进一步缩短响应时间。与传统的聚酰亚胺湿度传感器相比，基于纳米森林的湿度传感器在10-90%的相对湿度范围内，灵敏度提高了15倍，响应时间缩短至5s。该传感器还具备制作工艺简单、兼容CMOS工艺、适合批量生产等优势。

图2 集成纳米森林的湿度传感器测试结果

基于本研究成果的论文“Performance Enhanced Humidity Sensor by in-situ Integration of Nanoforests”近期发表在《电子器件快报》期刊上（IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS，DOI: 10.1109/LED.2021.3062063）。微电子所先导中心博士研究生陈贵东为该文章的第一作者，先导中心研究员毛海央为该文章的通讯作者。

【二】IOT物联网行业头条动态资讯

1.新进网终端将默认开启5G SA功能 。工信部副部长刘烈宏在世界电信日大会上表示，从5月17日起，新进网5G终端将默认开启5G独立组网（SA）功能，此举是为了加快基于5G的新型消费终端成熟。他还表示，今年底，我国未通宽带的行政村将清零，目前行政村通光纤和4G的比例超过了99%。截止到三月底，我国已经建5G基站超过81.9万个，占到全球5G基站的70%以上，由于5G共建共享，节省建设成本超800亿元。

2.德阳天府数谷与海尔卡奥斯达成西南工业互联网项目合作。“工赋西南”将以工业互联网带动产业数字化转型，打造西南工业互联网高地。目前，卡奥斯已经完成了德阳市本地化专业团队的组建，有近总计20个区域子平台、行业子平台及通用模块积极抢入，具体承接“工赋西南”“1+5+N+X”建设方案以及关键业务的布局和落地。

3.中科云图布局新一代5G网联无人机系统智能制造中心。该中心将围绕“全球领先的低空无人机遥感网运营商”的发展愿景，以自主研发的无人机智能基站为载体，以地理空间智能技术为核心，集成多功能传感器和机载AI边缘计算模块，构建空地协同的低空无人机遥感网解决方案，逐渐实现信息化、自动化、智能化生产，助力低空经济产业制造业高效柔性智能发展。

4.滴滴自动驾驶与广汽埃安达成战略合作。双方将在智能汽车领域探讨合资、合作模式，结合滴滴自动驾驶软、硬件技术研发优势与广汽埃安的自动驾驶整车平台及整车设计、制造能力，共同从线控底盘、自动驾驶传感器与系统集成等基础维度，全新定义并开发一款可投入规模化应用的无人驾驶新能源车型，并全速推进量产。

5.通用自动驾驶迎新进展。通用旗下自动驾驶子公司Cruise的首席执行官Dan Ammann表示，预计通用将于2023年初开始生产其名为Origin的无人驾驶摆渡车。据了解，Origin是该公司设计的首款全无人驾驶汽车，车内没有踏板和方向盘等手动操控装置。而当前Cruise的测试车队是由数百辆雪佛兰Bolt电动汽车所组成的，这些车辆都配备了该公司的自动驾驶技术。

6.蚂蚁链IP商业平台正式推出。在蚂蚁链“文昌星传统文化焕新计划”发布会上，蚂蚁链IP商业平台正式推出。据官方介绍，该平台基于区块链技术，将IP授权市场从原有的“批发”模式变为“零售”模式，IP使用方不再需要支付高额保底授权费。

7.腾讯宣布正式成立腾讯云音视频品牌。腾讯宣布正式成立腾讯云音视频品牌，同时发布三合一的RT-ONE网络，整合腾讯云实时通信网络（TRTC）、即时通信网络（IM）以及流媒体分发网络（CDN）三张网络。该服务面向教育、零售、泛娱乐等行业需求。腾讯云副总裁李郁韬表示，多数音视频需求要搭建三个网络，这是底层需求，RT-ONE网络可以一站式满足需求。

8.搜狐新闻客户端联合搜狗推出首个明星“数字人”主播。目前，明星“数字人”已上岗搜狐新闻客户端，这是搜狐新闻客户端探索视听化新闻体验的创新尝试。首任明星“数字人”以演员柳岩为原型，未来将会陆续有其他明星“数字人”主播入驻。

9.发展中国家竞相与华为签署协议。昨日，华盛顿智库战略与国际研究中心(CSIS)发布了一份报告称，从2006年至今年4月，非洲、亚洲和拉丁美洲的许多发展中国家与华为签署协议，由后者提供云基础设施和电子政务服务，具体而言，华为与41个国家的相关机构或企业达成了70笔交易。该研究称：“华为的云基础设施和电子政务服务正在处理医疗保健、税收和法律记录等数据。”（以上资讯来自物联网头条君）

内容出自：中关村物联网产业联盟