荷兰ASML,全球第一光刻机供应商近日发布了2021年第二季度的财报,数据显示,当季ASLM的净销售额高达40亿欧元,毛利率50.9%,净收入10亿欧元。
净预订单额83亿欧元,其中EUV极紫外光刻机就有49亿欧元,而总的积压订单金额已达175亿欧元。
目前第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机系统已经成功交付,相比之前的NXE:3400C生产力提高了15-20%,覆盖率(套刻精度)提高了约30%。但ASLM并未透露客户的信息。
ASLM表示将会增加EUV光刻机的量产应用,计划协助三个DRAM内存芯片客户在未来的工艺节点中导入EUV。
目前ASML 的EUV光刻机还属于第一代产品,EUV光源波长13.5nm左右,物镜NA数值孔径0.33,并发展了一系列型号。
第二代EUV光刻机将会是NXE:5000系列,物镜NA提升到0.55,光刻精度会进一步提高,原计划是在2023年问世,目前已经推迟到了2025年以后。
页面更新:2024-05-30
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