对话阿斯麦中国区总裁：“明星”光刻机需光刻软件和量测技术支撑丨2023进博会

光刻机被视为“人类制造过的最复杂的东西”，今年，荷兰光刻机巨头阿斯麦（ASML）亮相11月5日启幕的第六届中国国际进口博览会，并于展前召开媒体沟通会。

会上，阿斯麦全球高级副总裁、中国区总裁沈波向南方财经全媒体记者在内的媒体介绍了光刻机在内的“铁三角”业务及中国布局。他又称，到今年年底，中国市场上有接近1400台光刻机和量测机台的装机量。在2023年芯片行业进入周期性下行通道之际，中国市场对阿斯麦的业绩发展贡献颇多。

谈及发展预期，沈波坦言，阿斯麦计划在2025年底或2026年初达到90台EUV和600台DUV的年产能水平，但同时因应周期性风险和地缘政治风险，需要在产能和投入之间寻找平衡点。

“成像”需铁三角业务

“大家对阿斯麦的了解可能仅限于这是一家光刻机制造商，但实际上要实现‘成像’这个功能，阿斯麦从事的是一个‘铁三角’业务。”沈波首先纠正了市场的一个误解。在制造芯片的上千道工序中，“成像”是难度最高的环节之一，在本次进博会的展台上，阿斯麦将展示DUV（深紫外线）光刻机的基本工作原理。

阿斯麦的“铁三角”业务实际包括光刻机、计算光刻软件和量测系统等三部分，它们的共同目的是为了给芯片制造留出更优的“工艺窗口”。“很多行外人可能不一定理解工艺窗口，但工艺窗口的压力很大程度上放在了光刻环节，我们把这个最难的环节处理得好一点，其他环节相对就会轻松一些。”沈波直言。

计算光刻是指优化成像光源与掩模板设计，通过数学和物理建模来设计“光罩”。目前，阿斯麦在深圳和武汉设立了两个计算光刻开发中心，其中深圳中心建立于2004年，也是阿斯麦在全亚洲最大的专业软件开发中心。

有关量测环节，沈波又介绍指出，光学量测和电子束量测两种方式各有特点。阿斯麦的电子束量测可提供高精度的量测，又可以在机器实时运行生产的过程中不断收集数据、分析，并反馈给光刻机，以便光刻机进行适当调整。阿斯麦电子束量测在北京设有开发中心，是阿斯麦电子束量测的全球四大开发中心之一，专门从事电子束系统关键组件的开发。

在本次展台上，观众是否有缘亲眼见到这种大型精密机器呢？“我们所有的产品得放在洁净室里，对环境有非常高的要求。”沈波解释。洁净室不仅有严格的空气洁净要求，还有控温、空气湿度、振动与冲击、噪音、照明等要求。

因此，阿斯麦选择了“虚拟晶圆厂”，借助仿真光刻机外观平面模型，用裸眼3D视频的形式展示光刻机内部构造。

DUV光刻机因应成熟制程市场的需求，在中国和全球继续为阿斯麦创造强劲的销售。“中国从成熟制程到先进制程的终端消费市场均有显著增长，包括智能手机、服务器、数据中心和存储、无线和有线基础设施、工业应用等领域。”沈波称。“成熟制程芯片的市场占比最高，是光刻机行业建立竞争力、实现事半功倍的重点领域。”他指出。

寻找产能和投入的平衡点

在2023年的芯片周期性“寒冬”中，阿斯麦是少数抵御住寒风的公司之一。中期而言，350亿欧元的未交付订单也给这家公司的稳定增长打下基础。谈及未来，沈波坦言，一方面阿斯麦仍在扩大供货能力，另一方面，行业周期性和地缘政治仍是两大风险。

依据财报，2023年前三季度，阿斯麦累计收入为203.2亿欧元，预计第四季度收入为67亿至70亿欧元之间，这将让2023年全年收入较2022年增长30%。在芯片全行业而言，这是一个靓丽的数字。

“到目前为止，阿斯麦还是在产能不足的状态。”沈波坦言。根据阿斯麦季度财报，2023年前三季度已经交付325台光刻机，然而这依然远远未能满足市场需求。按照阿斯麦此前的官方指引，阿斯麦计划在2025年底或2026年初将全球供货能力提升至90台EUV和600台DUV的年产能水平。

此前阿斯麦首席财务官 Roger Dassen称，截至三季度末，阿斯麦仍有350亿欧元的订单尚未交付。阿斯麦预期在2025年达到300亿至400亿欧元的年销售额，在2030年达到440亿至600亿欧元的年销售额。

在2023年第三季度，向中国客户交付的付运量占据阿斯麦全球付运量的46%。阿斯麦预计，今年中国订单对阿斯麦的业绩贡献将达到20%以上。

沈波介绍，从1988年第一台阿斯麦步进式光刻机进入中国以来到2023年底，交付给中国的光刻机及量测机台装机量已近1400台。

在这一波芯片下行周期中，中国客户仍在积极装机，弥补了其他地区客户延后装机计划的缺口。

“海外大产能的客户行业敏感度较高，而中国客户处于起步阶段，需求波动不大，因此阿斯麦今年在中国出货量增大。”沈波称，2023年正抓住喘息机会，将过去一两年未交付的订单补一补。

尽管面临着发展史上的难得机遇，沈波依然表达了“居安思危”的考虑。

“一是行业本身周期性的风险，行业公司要在产能和投入之间寻找一个平衡点。”沈波称。“怎样既能够满足客户的需求、又不浪费公司的资源？当行业波动的时候，公司的资源还要能够得到有效的使用。”他解释称。

第二个风险是地缘政治对产业链带来的冲击。“现在大家都要去不同的区域、不同的地区自己去建芯片厂，虽然给阿斯麦带来更多的光刻机需求，但产能布局不像原来那么有效，会形成一些过剩产能，这不是最健康的状态。”沈波坦言。

本期编辑 黎雨桐 实习生 赵凤铃