赛微电子：MEMS微振镜8英寸晶圆启动量产

中证智能财讯 赛微电子（300456）9月13日晚间公告，近日，子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司为某客户制造的MEMS微振镜顺利完成小批量试生产阶段，该客户于今日签署采购订单。赛莱克斯北京正式启动MEMS微振镜的商业化规模量产。据悉，该批产品为MEMS微振镜8英寸晶圆。

MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，即微电子机械系统，是指由基于 Micro-machining 技术制造的微传感芯片（或微执行芯片），和控制/处理芯片（ASIC）组成的微型电子机械系统，MEMS 能够将信息的获取、处理和执行集成在一起，是一种将微电子技术与微机械工程融合到一起、具有多功能的工业技术及相应的集成系统。MEMS能够大幅度地提高系统的自动化、智能化水平。

而MEMS微振镜是一种基于MEMS工艺制造的微小振荡镜片，可取代传统电机，实现激光光束的高速、动态扫描。它具有高精度、高稳定性和低能耗等优点，被广泛应用于航空航天、医疗器械、汽车电子、通信等领域。

公司表示，尽管已在多领域实现MEMS制造技术的积累和突破，但赛莱克斯北京在整体上仍处于运营初期，产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程，产能扩充及产量目标的实现尚需一定时间。