专精特新看中国｜泓浒半导体：年轻的“小巨人”在晶圆传输赛道乘风破浪

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交汇点讯 2023年7月，根据工信部统一部署，江苏省工信厅发布《关于江苏省第五批专精特新“小巨人”企业和第二批专精特新“小巨人”复核通过企业名单》，泓浒（苏州）半导体科技有限公司（以下简称：“泓浒半导体”）被认定为国家级专精特新“小巨人”企业。据悉，2023年第五批专精特新“小巨人”企业申报1.7万余家，仅通过3000多家，全国通过率仅20%，入选难度较大。9月21日，“解码‘小巨人’——专精特新看中国（江苏站）”网络主题宣传活动一行来到泓浒半导体，深入了解这家新“小巨人”企业是如何脱颖而出的。

泓浒（苏州）半导体科技有限公司执行总裁兼首席技术官林坚在为记者做介绍

2016年，泓浒半导体在苏州成立，近年来公司通过不断创新、研发和生产，为国内外众多半导体制造企业提供高质量的产品和服务。作为业内领先的半导体晶圆传输设备制造商，泓浒半导体致力于晶圆传输设备及核心零部件国产化。据泓浒（苏州）半导体科技有限公司执行总裁兼首席技术官林坚介绍：“晶圆传输设备几乎被国外垄断，那目前国内像我们公司可以说是开拓了该领域的国产化的全新赛道。”

半导体晶圆传送设备

半导体晶圆传送设备是用于在制造过程中移动半导体晶圆的一种装置，它可以实现高效、精确的物料运输。半导体晶圆传送设备通常由传送带、引导片和传感器等组成，其中传送带可以将晶圆有效地传送到目的地，引导片可以自动检测晶圆是否适合传送，保证晶圆在传送过程中能够稳定运行，而传感器则可以实时监控物料的位置、速度和数量，确保物料的准确传送。

半导体晶圆传送设备

在泓浒半导体的万级无尘室车间，记者看到洁净机器人正在进行产品生产。林坚还向记者展示了一台正在运行的真空传送设备。“我们现在半导体的设备里面大概三分之一是要在真空环境下用，那真空下要完成这些动作，就必须要有我们这么一个真空的传送模块。”林坚介绍，在大气的环境下，要么是吸住晶圆，要么是夹住晶圆。“但在真空里面这两种方案都不能用，只能靠自摩擦，所以这时候要求晶圆本身在传输过程中的震动必须做到十分微小。”目前，泓浒半导体则成为国内为数不多的能实现该功能的企业。

成为“小巨人”企业不到两个月的时间内，泓浒半导体深刻地感受到了变化。“首先是政策的扶持，目前我们的新厂房也正在紧锣密鼓建设中。再一个就是资本的青睐，今年我们也完成了A+轮的融资。还有一个就是客户认同的加强，通过实打实国家严格的筛选，最终能够入选‘小巨人’，也说明我们实力强劲。”

谈及未来的规划，林坚表示，今年泓浒半导体准备成立一个研究院，专门对半导体的机械手、半导体的传送部件进行深入的研究。此外还会对设备的超低振动、14纳米以下的工艺做拓展性以及前瞻性的布局。“这样一来，也为未来我们国内能够突破这种更小尺寸的半导体设备制造技术，夯实好基础。”

新华日报·交汇点记者 焦贤颖 周天琦

编辑: 陆威

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