国产光刻机工厂落地雄安？

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近日，各大视频平台传出消息称，清华大学EUV项目将扩建ASML光刻机，安装一台光刻机。他还表示，该项目在雄安新区实施。视频中还有一张图像表明图像中的项目是一家光刻公司。对此，微信公众号“中国电子学会”9月18日发文辟谣，称网上留言并非国内光刻机制造商，而是北京高能同步辐射源（HEPS）项目。 。

图片在互联网上流传。本文图片转自微信公众号“中国电子学会”（下同）。据中国电子学会介绍，HEPS位于北京怀柔雁栖湖，是重大科研项目。国家“十三五”科技基础设施。它是我国第一个同步辐射源，也是世界上最亮的第四代同步辐射源之一。于2019年开工建设，将于2025年底投入运营。

北京高能同步辐射源项目实景照片。 HEPS的任务是用加速器将电子束加速到6GeV，然后将其注入直径为1360米的存储环中，并保持其以接近光传输速度的速度运行。当电子束穿过存储环不同位置的弯曲磁铁或不同插入物时，它会发出高能量且与偏转方向相切的精确光线。这就是同步加速器辐射。

简单地说，HEPS可以被认为是一个非常强大的、高速的、具有极高功率的巨型X射线机。它产生的微小光束可以穿透物质，扫描物质深处的三个维度，并观察小至分子和原子大小的多维微观世界。因此，HEPS是一个进行科学实验的伟大科学工具，而不是一家在线光刻机公司。

该项目由国投国家级研究员、设计师、首席科学家楼宇领衔，与中国电子学会的多个工程设计团队合作。从项目可行性研究到项目实施，中国电子科学研究院克服了诸多技术和工艺难题，解决了项目矛盾、微振动控制、远期结构设计、光伏板设计、主动温度控制和水处理测量系统。 。 、极其复杂的工艺系统等七大技术难题，取得重大技术进步，信号控制达到国际水平。如今，高质量同步辐射源配套工程已全面竣工，距离产生世界“最亮”光又近了一步。

来源 |观察者网

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