为2nm做准备？台积电拿下IMS约10%股权 设备中的“低调王者”走到台前

《科创板日报》9月13日讯台积电在9月12日的临时董事会上宣布，拟不超4.328亿美元收购英特尔手中IMS Nanofabrication约10%股权，预计整个交易将在2023年第四季度完成。另外，台积电还宣布拟不超过1亿美元额度认购Arm股票。

知名分析师郭明錤指出，台积电这两笔投资主要目的为提高垂直整合能力，以确保从目前3nm的FinFET技术能顺利转换到2nm的GAA技术。其中，投资IMS可确保关键设备的技术开发与供应能满足2nm商用化的需求。

谈及半导体设备，荷兰光刻机设备巨头ASML多被大众所熟知。不过值得注意的是，在芯片制造的过程中，IMS提供的多光束掩模写入机也尤为重要。

IMS Nanofabrication于1985年在维也纳成立，是一家多电子束直写光刻设备厂商，产品主要应用于先进工艺节点光刻掩模制造。

简单来说，如果没有IMS Nanofabrication的掩模写入器，所有EUV工艺技术都将陷入停顿。EUV工艺技术被用于7nm以来的所有台积电、英特尔的工艺节点。另外，三星的所有逻辑工艺技术都使用了EUV，该公司还在其最新的两代DRAM工艺技术中使用了EUV。

半导体厂商D2S的首席执行官Aki Fujimura表示：“在EUV开始进入大批量制造的同时，行业开始采用多光束掩模写入器，现在几乎所有的EUV掩模都是用多光束掩模写入器写入的。”

而在EUV掩膜的多光束掩模MBMW（Multibeam Mask Writer ）写入器领域，奥地利IMS占有90%以上市场份额。

IMS Nanofabrication于2015年被英特尔收购。次年，该公司发布了第一款商用多光束掩模写入器。今年以来，英特尔决定对该业务资产展开股权重组。6月，英特尔曾宣布，将向私募股权公司贝恩资本出售其在IMS Nanofabrication的20%股份。

据彼时路透社计算，英特尔出售的20%股权的价值为8.6亿美元。交易公告介绍称，引入外部投资者将使IMS通过加速创新和实现更深入的跨行业合作来抓住多光束掩模写入工具的重要市场机会。