又白沸腾了？清华EUV光刻机工厂，其实是个假消息

前几天，很多自媒体都曝了一个相同的好消息，说是清华的EUV光刻机工厂，将落地了。

与ASML的小型化EUV光刻机不同，这个EUV光刻机，采用的是SSMB-EUV方案，功率是ASML EUV光刻机的40倍。

其原理是采用大的加速器光源，用分光器来带动几十台光刻机，相当于建了一个光刻机工厂，然后同时生产出了几十台光刻机一样，用来满足很多客户同时作业需求，集群化。

于是全网沸腾了，因为一直以来，大家都认为EUV光刻机的突破，需要极紫外线光源、物镜系统、工作台等等的突破，非一朝一夕之功。

而一旦国产EUV光刻机有了突破，那么美国就再也卡不住我们的脖子了。

而如今，国产EUV光刻机换道超车，用分光器+SSMB-EUV方案，打破了美国的技术封锁，走出了一条有中国特色的EUV光刻机之路。

那么问题来了，这真的是国产EUV光刻机么？实际上还真不是的。

SSMB到底是什么玩意？它的英文全名是：steady-state micro-bunching，是Steady-state micro-bunching accelerator light source的一部分，翻译过来是：稳态微聚束加速器光源。

SSMB概念由斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授赵午与其博士生Daniel Ratner于2010年提出。

清华大华是在2017年，由唐传祥与赵午发起该项实验，并成立SSMB研究团队的，而SSMB也分为三个阶段，分别是加速一圈；加速千圈；以及进入真正的SSMB，保持稳定。

唐传详教授也曾对媒体表示：“SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源”。

这就很容量理解了，而就算SSMB稳定后，也只是产生出了稳定的EUV光源，有可能会成为EUV光刻机的光源，而一台EUV光刻机，需要的不仅仅是光源，还需要操纵光源，进行光刻。

而ASML的EUV光刻机中，产生稳定的EUV光源，也只是其中的第一步，还有后面的好多步骤，所以就算有了EUV光源，也仅仅只是实现了第一步而已。

所以就算清华大学，真的有了SSMB-EUV光源，也只是解决了EUV光源问题，还要考虑物镜系统、工作台，这些是缺一不可的。

事实上，而按照业内人士人说法，清华大学的SSMB至少在目前并不是用来做EUV光刻机的，是用来研究高能粒子对撞之类研究的，远期目标可能是用其作为EUV光源，且目前还没有达到稳定产生EUV的结果。

当然，我并不是说清华大学的这个SSMB-EUV方案有什么不对，只是说它至少在目前并不是EUV光刻机，就算全面成功了，也只是其中的一个小环节，还有更多的环节，等着我们。

所以，大家先别沸腾，打好基础，扎实前行才硬道理，换道超车，没有这么容易换的，你觉得呢？