​清华大学EUV光刻机光源即将建成？真相来了，有图有证据

最近一段时间有关清华大学SSMB光源技术引起了很多网友的关注，很多人都是人云亦云，认为清华大学已经攻克了EUV光刻机的光源，我国EUV光刻机量产指日可待。

而且相比传统的光刻机而言，清华大学这种SSMB光源技术有很大的优势，就是它可以实行工厂化的量产，由中心工厂统一供应光源，各个芯片厂家可以根据自己的工艺制成采取不同的光源。

最关键的是这种SSMB光源比目前的EUV刻机光源更先进，它不仅可以批量生产，最关键的是它的波长有可能比13.5纳米更小，未来是突破EUV光刻机光源技术的关键路线之一。

也正因为如此，广大网友一片兴奋，有人说我们终于可以摆脱对外面的束缚，甚至有可能实现弯道超车，打破ASML在高端光刻机的垄断局面。

而且很多网友把SSMB的技术分析得头头是道，但他们自己都是云里雾里，压根就不知道怎么回事，还有一些网友直接把图片和视频贴出来以证明清华大学SSMB光源项目已经取得进展，甚至项目已经初步成型，马上就要投入使用了。

从网友发布的图片和视频内容来看，据说这个项目的外形像一个圆圈，就像苹果的总部一样，旁边还有两个小圆圈，就像一个箭头一样。

从项目的进展来看，整体外形基本上已经成型，只是还有一些路面没有平整，还是黄土地，只需要再进行绿化以及硬化就可以了，按照这个进度，2023年底之前大概率会实现整个工程的整体完工。

那网友贴出来的这个图片和视频真的是清华大学SSMB项目的工程吗？

可以肯定的告诉大家，这个是假的！

首先目前清华大学SSMB项目确实正在推动当中，从清华大学河北研究院官网发布的一些信息来看，早在2022年底的时候这个项目就开始立项了。

而且这个SSMB项目选址是在河北的雄安新区，在今年二三月份的时候，已经把建设的地址初步确定下来了，目前工程应该还在勘探当中。

但除了选址这个信息之外，从清华大学或者清华大学河北研究院或者国家其他部门，我们并没有看到有关SSMB项目在招标或者正在建设当中的相关信息，也有可能这个信息比较保密，所以我们无法知道真实的情况。

但可以肯定的是，网友贴出来那个圆形建筑物绝对不是SSMB项目，这个项目真实的情况是中国科学院高能物理研究所的高能同步辐射光源项目（HEPS）。

这个项目并不是什么机密，早就公开了，而且很多媒体之前都有报道过。

HEPS项目在2016年的时候就列入《国家重大科技基础设施建设“十三五”规划》，2017年12月15日HEPS项目建议书获得国家发改委正式批复；2019年6月29日HEPS项目正式开工，地址位于北京市怀柔区的科学城。2022年12月12日HEPS基建总包工程竣工验收；2023年3月14日，直线加速器满能量出束，HEPS成功加速第1束电子束。

这说明目前HEPS项目已经具备了基础科研的条件。

那HEPS项目到底是什么东西呢？它跟清华大学的SSMB项目又有什么区别呢？

其实HEPS是一个基础科学和工程科学等领域原创性，突破性，创新研究的重要支撑平台。

HEPS项目主要由加速器、光束线站、配套设施等构成，它可以为在众多基础科学的前沿开展更灵敏、更精细、更快、更复杂和更接近实际工作环境的科学研究提供适应调控时代要求的前所未有的实验平台，支撑科学研究更精细地以空间、时间、能量三个维度，从分子、原子、电子、自旋的水平认识物质（包括生命物质和非生命物质），进而实现多层次、多尺度的物质调控，为国家解决在资源、能源、环境、人口和健康诸多领域面临的日益严峻的挑战提供科学基础。

当然这个项目也可以用来支撑芯片以及光刻机的研究。因为它可以调控提高纳米材料性能，甚至产生新的材料，所以在未来HEPS项目正式投入之后，我们不排除我国芯片产业的相关研究有可能在这个地方进行并实现相关技术的突破。

但大家必须弄清楚HEPS项目是一个基础科研平台，它并不是用来单独研究光刻机或者光刻机光源的，这跟清华大学的SSMB项目或者技术路线是有很大差别的。

清华大学的SSMB项目简单来说就是一种光源项目，它的主要目的就是为光刻机提供极紫外线光源，是光刻机光源的一种技术路线。

所以两者是有很大区别的，大家不要混淆了，更不要把HEPS项目直接当成清华大学SSMB项目，这完全是混淆视听。