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光刻机成为芯片制造的"卡脖子"

近几年来，光刻机技术始终备受瞩目，因为这是制造芯片的关键机器设备。随着科技的发展，芯片在各行各业广泛使用，变成现代社会必不可少的一部分。

但是，因为美资本主义掌握了绝大多数半导体技术，中国芯片发展趋势到处受到限制，迫不得已踏入长期自主研发道路，现如今局势转变，外国媒体竞相评论称：中国芯尘埃落定了！

芯片制造过程中，光刻机做为重要环节，在晶圆制造中占据了重要的位置。但是，美方的限制令让ASML公司陷入绝境，面临着对DUV光刻机的出货限制。只不过，近期传来一条国产光刻机的消息，导致ASML企业的焦虑也许会变成现实。

在当今全球芯片产业链中，光刻机的位置显而易见。但是，美方的限制措施始终困扰着ASML公司。因为光刻工艺耗时的巨大占比，光刻机变成芯片制造的"卡脖子"。早在2018年，中芯国际购买EUV光刻机时，美方就施压限制了出货。现如今，他又在对DUV光刻机实施更为严格出口限制。但是，中美摩擦带来的压力没有让中国的芯片制造业无计可施。

美，日，荷，签订《三方协议》

大家都知道，光刻机是制造芯片最重要的机器设备，而全世界仅有荷兰ASML、日本尼康和佳能，及中国上海微电子可以生产制造，而光刻机领域的话语权被ASML、尼康和佳能垄断市场，占领全球光刻机市场95％以上市场占比。

为了能阻拦“中国芯”的发展道路，美国充分利用威胁利诱的方法驱使日本、荷兰与其签订《三方协议》，禁止出售给中国企业高尖端半导体技术、机器设备。

ASML总裁曾一度在公共场合发出警告，假如不出售给中国光刻机，几年后，中国便会熟练掌握全部的光刻机技术，ASML公司极有可能兵败中国市场，遭到致命性损害，这也是绝接受不了的。尽管ASML、尼康、佳能都清楚这点，但是由于采用了大批量美国半导体技术，无奈选择屈服在美国的淫威之下，停止给中国客户供应一部分型号的中高端光刻机。

但是，让美日荷出乎意料的是，他们刚开始要对中国半导体产业动手，中国就传来喜讯，有效的压制了《三方协议》的杀伤力。

据媒体消息，“国家队”龙芯中科顺利研发出中国首台中高端光刻机，已经进入了内测阶段，且各项测数数据都十分满意。国产中高端光刻机进入内测，代表着中芯国际等国内芯片制造企业不久之后就可以使用上自己的光刻机。

国产90纳米光刻机突破？

光刻机是作为制造芯片的重要设备，美始终都在限制ASML出货最先进的EUV光刻机，因为光刻机太复杂，ASML曾称，给中国设计图纸其也无法复制出来。

由于ASML的光刻机融入了全世界超40个国家的尖端技术，供应商更加是超过数百家。

但具体情况并不是ASML所讲的这么难，全球四大光刻机厂商中，上海微电子就是其中一个，而其研发制造的后道封装光刻机，占据了全球四成的市场需求。

去年末，上海这方面正式宣布，国产90nm光刻机取得新突破；上海微电子28nm精度的光刻机获得技术验证。

专业人士表明，在多次曝光工艺下，90nm光刻机可以将芯片制程缩小至7nm，而ASMLDUV光刻机的精度为38nm,多次曝光后，可以将芯片制程缩小至7nm。

上海微电子公布国产光刻机实现突破消息的时候，ASML忽然出现一个有趣的现象，那便是坚持向中国出货，也不听美劝。

比如，美出台政策限制相关芯片企业出货，但ASML表明该政策对光刻机出货的影响非常有限，因为ASML光刻机中使用美元器件的数量是非常有限的。

接着美又对ASML开展劝谏，期望其收紧国际主流光刻机的出货范围，最后直接被ASML给回绝了。

无可奈何的美，其联合日荷签订了三方协议，借助荷兰限制ASML出货先进光刻机。

ASML好日子到头了？

我们都知道，在全球范围内能够提供商用光刻机的生产商只有三家，分别为荷兰ASML、日本尼康和佳能。和上海微电子，虽然三者都可以生产光刻机，但ASML则是“一枝独秀”的存在，归根结底，其实就是因为ASML占据着80%及以上的中高端市场份额，在EUV光刻机行业更加是处在垄断地位。

正是因为如此，ASML在全球半导体销售市场赚个盆满钵满。就用EUV光刻机来讲，它是制造7nm及以下高端芯片不可缺少的设备，而全球大部分半导体企业全是ASML的“座上宾”，其中也包括台积电、三星、英特尔、SK海力士等巨头。

实际上，在三年前，中芯国际就差点儿从ASML手上购买到EUV光刻机，只不过是在老美的干涉下，ASML迄今也没有安排发货。虽然没有最先进的光刻机机器设备，中芯国际同样在去年实现了14nm芯片的量产。

ASML公司高管曾当着中国科学家的面嘲讽道，“即使是把图纸给你们，中国也造不出光刻机”，可中国科学家十分善于以实际行动“打脸”，不仅研制出DUV光刻机，并且还掌握了大量EUV光刻机核心技术，这样的研发速度，让ASML感到震撼、害怕，公司总裁温宁克在前不久完全撕下伪装，声称中国自研光刻机是破坏全球芯片产业生态的行为！

结语

现如今，国产光刻机成为了核心。对于此事，有网友分析得很好，我们不应该被某一些专家迷惑了，什么光刻机有10多万个零件，是集中全人类智慧的结晶，我们一家攻克不了。

事实上，ASML光刻机其实就是汇聚了美、德、法、日等几个国家的技术，他们合在一起人口才6亿人，怎么可能代表着全人类，而我们便有14亿人，并没有什么可以难倒咱们的。

所以，我们要有信心，只要我们集中力量攻坚，国产光刻机的突破一定会很快到来！