新华社官宣:中国电科搞定28纳米制程离子注入机。
芯片生产的四大环节:
离子注入机
光刻机
刻蚀机
薄膜沉积
离子注入机的作用不亚于光刻机!!!
离子注入机用途:离子注入设备将离子注入到芯片表面,以改变芯片材料的电性能。这对于形成不同的电阻和导电层非常重要,以实现芯片的功能。
页面更新:2024-04-18
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