不负众望！国产光刻机正式崛起，性能远超日本佳能光刻机

光刻机的重要性不言而喻，是生产芯片的重要设备之一，如今随着我国加大对半导体领域的投资，对光刻机设备的需求也越来越高，因此国内不少企业开始入局光刻机设备行业，这给半导体行业带来巨大贡献。

近期网上就传来一个好消息，上海微电子研制的光刻机正式进入中企生产线中，其性能远超日本佳能光刻机，这对国内半导体行业来说是跨越式的突破。

据了解，上海微电子是我国一家专注于研制光刻机设备的制造商，目前已经实现90nm制程光刻机量产，并做出国内首台2.5D/3D先进封测光刻机。

除此之外，上海微电子还占据国内80%的封测光刻机市场，就在今年初，昆山同兴达就从上海微电子购买了两台金凸块封测光刻机。除此之外，燕东微电子也采购上海微电子ArF干式光刻机。

在投资者互动平台上，有人就向燕东微电子提出这个询问，而燕东微电子的回应，也指出两点，一是燕东微电子有晶圆建设项目，二是已采购上海微电子的光刻机。

据了解，燕东微电子目前8英寸晶圆和6英寸晶圆生产线各有一条，另外一条12英寸晶圆生产线正在建设，主要用于生产高密度功率器件产品。

而燕东微电子之所以选择上海微电子的光刻机，足以说明国产光刻机的实力，就拿65nm制程的ArF干式光刻机来说，基本不输日本佳能光刻机。

众所周知，全球最知名的光刻机制造商有四家，分别是荷兰的ASML，日本的尼康和佳能，以及中国的上海微电子。

其中高端光刻机市场被ASML垄断，像台积电三星等代工厂商都需要从ASML手上购买，至于中低端光刻机市场，则被上海微电子、尼康和佳能等三家企业瓜分。

随着上海微电子快速崛起，目前实力已经超过日本佳能，虽然65nm制程光刻机设备不是最先进的，但在成熟制程领域的实用性非常高，能大规模量产成熟芯片，满足消费市场需求。

如今我国的中低端芯片代工厂商的光刻机都已经替换成国产，这对国产半导体产业来说是一个好消息，随着技术、人才、资金的投入，离研制出高端光刻机设备也不远，到时我国也有自己的高端光刻机设备，未来将不再受制于人，非常值得我们去期待。

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