首台国产光刻机搬入使用，但此光刻机非彼光刻机

首台国产光刻机搬入使用仪式现场

美国自2018年3月主动挑起中美贸易战以来，一直主打科技战，对中国中兴、华为等一大批高科技企业疯狂打压，对中国领先世界的5G技术、芯片设计技术全面封杀，并联合盟友，在代工制造高端芯片相关的技术设备领域，对中国实施严格封禁。特别是光刻机，无论成品、配件，还是技术、人才，都严防死守，如临大敌。此等恶劣环境下，中国企业和科技工作者不信邪、不怕鬼，自立自强，奋发作为，潜心致力于中国完全自主知识产权的相关技术与产品，彻底打破美西方对中国高科技的围堵打压与垄断霸凌。

上海微电子（集团）股份有限公司展台一角

日前，中国企业传出好消息：2月初，中企昆山同兴达搬入首台上海微电子光刻机，并举行了设备进机仪式。据报道，该光刻机属于金凸块封测光刻机，延展性强，和先进制程有着相似功能，可以有效提高芯片封测应用能力，对推进我国先进封测项目投产、缩短国内外差距具有重要意义。同兴达主营业务涉及芯片先进封装测试，引入首台国产光刻机后，可实现每月2万片全流程金凸块产能。这是中国科技的又一个关键突破，值得骄傲自豪。但冷静客观地看，此光刻机并非美西方“卡脖子”光刻机。研制出中国人自己的高端芯片光刻机，尚待时日，务必戒骄戒躁，继续保持踏实、坚忍、创新、超越的态度、作风和标准，加倍努力。

目前全球最先进的ASML光刻机

据了解，光刻机有前道和后道之分，应用领域不同。前道光刻机主要参与芯片制造流程，运用光刻机的高精度分辨率，将芯片图案曝光在晶圆表面，原理和照相机类似。但曝光流程和工艺非常复杂，涉及到全球顶尖科技技术。当前，ASML是全球最大的光刻机厂商，最顶级的EUV光刻机只有ASML才能生产。

后道光刻机主要应用于封装，测试流程，以提高芯片后道制造良率，推进芯片落地。目前，上海微电子掌握了90nm前道光刻机的量产能力，但更多的市场份额集中在后道封装领域。此次昆山同兴达搬入首台上海微电子光刻机，其应用功能主要在后道封装领域。