问世30年,最长青的光刻机：PAS5500，至今还在用！助ASML登上霸主

不论是极紫外光光刻机(EUV) 或是深紫外光光刻机( DUV)，当前都被广泛用在逻辑芯片与存储器生产上，可说是当前半导体制程中不可或缺的关键设备。而在这些设备的生产当中，荷兰商艾司摩尔(ASML) 则在其中扮演了至关重要的角色。只是，当时落后竞争对手的ASML，如何能成为今天半导体光刻机上的霸主，其关键就在当年的PAS 5500 机台上。

ASML 表示，1991 年ASML 首部PAS 5500 机台完成出货之后，直到今天，PAS 5500 仍是ASML 最长青的光刻机设备，也是ASML 用途最广泛的产品线之一。当时在PAS 5500 出货之前，ASML在半导体光刻机市场位居第三，远远落在竞争对首Nikon 和Canon 之后。然而， PAS 5500 的成功很快的让ASML 晋升第二大光刻机设备商，并为ASML 日后在光刻机市场的全球发展打下基础。

至于，为什么叫做PAS 5500 呢？PAS 5500 来自1970 年代，当时飞利浦的研究员开始实验一系列的设备，而PAS 5500 的全名「the Philips Automatic Stepper(PAS)」。而为了纪念这部机台的来源，也代表ASML 与飞利浦长期的合作关系，因此取名为PAS 5500。

ASML 强调，问世的30 年后，每部PAS 5500 都在半导体制程中拥有自己的故事。举例来说，已经25 岁的PAS 5500/275，多年来被应用在存储器(Memory) 以及RF 模组(Radio Frequency Module) 制程中，但它最近刚被翻修，并重新贩售到VR 技术制程的最前线，展开新生活。仅管PAS 5500 已经不再被应用在最先进的制程中，但它们具备成本低、体积小、简单以及稳定性，在许多利基应用市场中是首选设备。为了持续支持使用这部机台的客户，当前ASML 已将相关的客户支持服务期限延后至2030 年以后。

来源：technews(台）